一种晶圆片缺口检测装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311697768.4

申请日：

2023-12-12

公开(公告)号：

CN117393453B

公开(公告)日：

2024-02-13

发明(设计)人：

程永龙马林韩忠俊何齐宇

申请人：

迈为技术（珠海）有限公司

申请人地址：

519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室（集中办公区）

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687

代理机构：

北京泽方誉航专利代理事务所(普通合伙) 11884

代理人：

唐明磊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231212
2024-02-13	授权	授权
2024-01-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆片缺口检测装置及检测方法 [P].

程永龙 ;

马林 ;

韩忠俊 ;

何齐宇 .

中国专利 :CN117393453A ,2024-01-12

[2]

晶圆检测装置及晶圆片检测方法 [P].

陈蕖 ;

徐铭 ;

屠国强 ;

陈新来 ;

沈一林 .

中国专利 :CN118800678A ,2024-10-18

[3]

晶圆缺口检测装置及其检测方法 [P].

邵辉 ;

魏志杰 .

中国专利 :CN114791430A ,2022-07-26

[4]

晶圆片位置检测装置及检测方法 [P].

杨帆 .

中国专利 :CN114334691A ,2022-04-12

[5]

一种晶圆缺口检测装置 [P].

张文涛 ;

梁经伦 ;

张绍辉 ;

陈金宇 ;

劳才高 .

中国专利 :CN119340256A ,2025-01-21

[6]

一种晶圆片视觉检测设备及检测方法 [P].

吴明 ;

陆建力 .

中国专利 :CN118655153A ,2024-09-17

[7]

一种晶圆片视觉检测设备及检测方法 [P].

吴明 ;

陆建力 .

中国专利 :CN118655153B ,2025-01-21

[8]

一种晶圆级检测装置及晶圆级检测方法 [P].

陈建发 ;

韩雨希 ;

程佳平 ;

王穗玲 ;

郝成龙 ;

谭凤泽 ;

朱健 .

中国专利 :CN119310103A ,2025-01-14

[9]

晶圆检测装置及检测方法 [P].

孙丰 ;

盛凯 .

中国专利 :CN120319681B ,2025-08-22

[10]

一种晶圆检测装置及检测方法 [P].

文斐 ;

孔德峰 ;

胡纯栋 ;

沈飊 ;

梁立振 ;

曹宏睿 ;

叶扬 ;

訾鹏飞 ;

屈浩 ;

谭名昇 ;

钱玉忠 ;

裴明雪 .

中国专利 :CN115015156A ,2022-09-06

← 1 2 3 4 5 →