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一种晶圆片视觉检测设备及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410911272.0
申请日：
2024-07-09
公开(公告)号：
CN118655153A
公开(公告)日：
2024-09-17
发明(设计)人：
吴明
陆建力
申请人：
浙江蓝特光学股份有限公司
申请人地址：
314023 浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇洪福路1108号
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
代理机构：
嘉兴中创致鸿知识产权代理事务所(普通合伙) 33384
代理人：
姚海波
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省
嘉兴市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20240709 |
| 2024-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-21 | 授权 | 授权 |