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晶圆片背面视觉检测结构、检测方法和相关设备
被引：0
申请号：
CN202210404322.7
申请日：
2022-04-18
公开(公告)号：
CN114758969A
公开(公告)日：
2022-07-15
发明(设计)人：
肖上
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市滨湖区金融二街8号18楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2168
H01L21683
代理机构：
无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492
代理人：
陆晔
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-15 | 公开 | 公开 |
| 2022-08-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220418 |