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晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110316188.0
申请日：
2021-03-24
公开(公告)号：
CN113161254A
公开(公告)日：
2021-07-23
发明(设计)人：
左国军 任金枝 范生刚 马冠男
申请人：
申请人地址：
213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343
代理人：
汪海屏;王淑梅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-07-23 公开 公开
2021-08-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210324
共 50 条
[1]
晶圆视觉检测方法、检测系统、检测晶圆损坏的方法 [P]. 
左国军 ;
任金枝 ;
范生刚 ;
马冠男 .
中国专利 :CN113161254B ,2024-01-30
[2]
晶圆质量检测系统以及晶圆质量检测方法 [P]. 
周俊杰 ;
江瑞星 ;
袁力 ;
沈鸿强 ;
翁庆忠 .
中国专利 :CN102637617B ,2012-08-15
[3]
晶圆面型检测系统及晶圆面型的检测方法 [P]. 
王稣萍 ;
李林欣 .
中国专利 :CN117637509A ,2024-03-01
[4]
晶圆盒内晶圆放置状态检测方法以及晶圆状态检测系统 [P]. 
高旭 .
中国专利 :CN120015660A ,2025-05-16
[5]
晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统 [P]. 
蔡政焜 ;
施英汝 .
中国专利 :CN109767999A ,2019-05-17
[6]
晶圆检测系统及检测方法 [P]. 
吴健健 ;
王潇斐 .
中国专利 :CN112858325A ,2021-05-28
[7]
晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P]. 
胡俊林 ;
郑隆结 ;
孙会民 .
中国专利 :CN120314331B ,2025-08-15
[8]
晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统 [P]. 
周毓婷 .
中国专利 :CN114740017A ,2022-07-12
[9]
晶圆检测设备及晶圆检测方法 [P]. 
胡俊林 ;
郑隆结 ;
孙会民 .
中国专利 :CN120314331A ,2025-07-15
[10]
晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
杨峰 ;
林瑶 ;
王明明 ;
韩永琪 .
中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28
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