晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410516268.4

申请日：

2024-04-26

公开(公告)号：

CN120847126A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

杨峰林瑶王明明韩永琪

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01 G01B11/00

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20240426

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[2]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[3]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[4]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

[5]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

王恺 .

中国专利 :CN103646889A ,2014-03-19

[6]

晶圆缺陷检测方法及系统 [P].

赵东艳 ;

陈燕宁 ;

吴波 ;

高斌斌 ;

陈一宁 ;

吴永玉 ;

刘芳 ;

邓永峰 ;

郁文 ;

罗宗兰 .

中国专利 :CN119742248A ,2025-04-01

[7]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475B ,2025-10-14

[8]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104103545A ,2014-10-15

[9]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

[10]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

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