晶圆缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310630250.9

申请日：

2013-11-29

公开(公告)号：

CN103646889A

公开(公告)日：

2014-03-19

发明(设计)人：

倪棋梁陈宏璘龙吟王恺

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陶金龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581487866 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013106302509 申请日:20131129
2014-03-19	公开	公开
2017-05-31	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752383105 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2013106302509 申请公布日:20140319

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[2]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[3]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

[4]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN103646899A ,2014-03-19

[5]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475B ,2025-10-14

[6]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104103545A ,2014-10-15

[7]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[8]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[9]

晶圆缺陷检测方法、晶圆缺陷检测设备及其拍摄装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115128099A ,2022-09-30

[10]

一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法 [P].

陈杰 ;

王冲 ;

陈轮兴 ;

义岚 .

中国专利 :CN120709174A ,2025-09-26

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