晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411827587.3

申请日：

2024-12-11

公开(公告)号：

CN119715801A

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

王曜李磊

申请人：

武汉新芯集成电路股份有限公司

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

G01N29/06

IPC分类号：

G01N29/30 H01L21/66

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

黎坚怡

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 29/06申请日:20241211
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[2]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[3]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[4]

晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

顾珍 .

中国专利 :CN102890089B ,2013-01-23

[5]

晶圆缺陷检测方法、晶圆缺陷检测设备及其拍摄装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115128099A ,2022-09-30

[6]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[7]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

[8]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

王恺 .

中国专利 :CN103646889A ,2014-03-19

[9]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475B ,2025-10-14

[10]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104103545A ,2014-10-15

← 1 2 3 4 5 →