共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210342178.5
申请日：
2012-09-17
公开(公告)号：
CN102890089B
公开(公告)日：
2013-01-23
发明(设计)人：
郭贤权
许向辉
顾珍
申请人：
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
竺路玲
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-01-23 | 公开 | 公开 |
| 2013-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101405719424 IPC(主分类):G01N 21/88 专利申请号:2012103421785 申请日:20120917 |
| 2015-07-29 | 授权 | 授权 |