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晶圆缺陷扫描方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911137379.X
申请日：
2019-11-19
公开(公告)号：
CN110867392B
公开(公告)日：
2020-03-06
发明(设计)人：
韩俊伟
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
曹廷廷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-03-31 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20191119
2023-02-10 授权 授权
2020-03-06 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆缺陷扫描方法 [P]. 
何理 ;
许向辉 .
中国专利 :CN104157589B ,2014-11-19
[2]
晶圆缺陷扫描方法 [P]. 
韩俊伟 .
中国专利 :CN109545700B ,2019-03-29
[3]
晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台 [P]. 
郭贤权 ;
许向辉 ;
顾珍 .
中国专利 :CN102890089B ,2013-01-23
[4]
晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P]. 
王曜 ;
李磊 .
中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28
[5]
一种晶圆缺陷扫描方法 [P]. 
王洲男 ;
顾晓芳 ;
倪棋梁 .
中国专利 :CN109560000A ,2019-04-02
[6]
晶圆缺陷扫描方法及系统、缺陷检验机台 [P]. 
许平康 ;
方桂芹 .
中国专利 :CN110299298A ,2019-10-01
[7]
晶圆表面缺陷扫描排布方法及系统 [P]. 
王正兴 ;
廖建凯 ;
章淑媛 ;
赵俊 ;
覃禾清 .
中国专利 :CN120637260B ,2025-10-21
[8]
晶圆表面缺陷扫描排布方法及系统 [P]. 
王正兴 ;
廖建凯 ;
章淑媛 ;
赵俊 ;
覃禾清 .
中国专利 :CN120637260A ,2025-09-12
[9]
晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
金德容 ;
吴容哲 ;
曲扬 .
中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06
[10]
晶圆缺陷分析装置及晶圆缺陷分析方法 [P]. 
林佳良 ;
刘埃森 ;
锺承育 ;
冯祥铵 ;
陈亚理 .
中国专利 :CN120102586A ,2025-06-06
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