晶圆缺陷扫描方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811458489.1

申请日：

2018-11-30

公开(公告)号：

CN109545700B

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

韩俊伟

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2188 G01N2195

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20181130
2020-07-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

顾珍 .

中国专利 :CN102890089B ,2013-01-23

[2]

晶圆缺陷扫描方法 [P].

何理 ;

许向辉 .

中国专利 :CN104157589B ,2014-11-19

[3]

晶圆缺陷扫描方法 [P].

韩俊伟 .

中国专利 :CN110867392B ,2020-03-06

[4]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[5]

晶圆表面缺陷扫描排布方法及系统 [P].

王正兴 ;

廖建凯 ;

章淑媛 ;

赵俊 ;

覃禾清 .

中国专利 :CN120637260B ,2025-10-21

[6]

晶圆表面缺陷扫描排布方法及系统 [P].

王正兴 ;

廖建凯 ;

章淑媛 ;

赵俊 ;

覃禾清 .

中国专利 :CN120637260A ,2025-09-12

[7]

一种晶圆缺陷扫描方法 [P].

王洲男 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN109560000A ,2019-04-02

[8]

晶圆缺陷扫描方法及系统、缺陷检验机台 [P].

许平康 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN110299298A ,2019-10-01

[9]

晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质 [P].

李翠丽 .

中国专利 :CN112614790B ,2024-01-23

[10]

晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质 [P].

李翠丽 .

中国专利 :CN112614790A ,2021-04-06

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