晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011483296.9

申请日：

2020-12-16

公开(公告)号：

CN112614790A

公开(公告)日：

2021-04-06

发明(设计)人：

李翠丽

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	公开	公开
2021-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20201216

共 50 条

[1]

晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质 [P].

李翠丽 .

中国专利 :CN112614790B ,2024-01-23

[2]

晶圆缺陷监测方法及系统和计算机存储介质 [P].

胡家航 ;

宋俊丽 ;

严啓志 ;

冯巍 ;

周伦潮 .

中国专利 :CN110517969B ,2019-11-29

[3]

晶圆缺陷检测系统及检测方法和计算机存储介质 [P].

胡向华 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 ;

龙吟 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN109065467A ,2018-12-21

[4]

用于晶圆缺陷扫描的方法、设备及计算机可读存储介质 [P].

王通 .

中国专利 :CN111933538A ,2020-11-13

[5]

晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

顾珍 .

中国专利 :CN102890089B ,2013-01-23

[6]

扫描系统及方法、扫描台、计算机装置及可读存储介质 [P].

李昱 ;

王文斌 ;

赵晓波 .

中国专利 :CN109470141A ,2019-03-15

[7]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

张嵩 ;

肖安七 .

中国专利 :CN117853392A ,2024-04-09

[8]

缺陷扫描取样方法及计算机可读存储介质 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN118692933A ,2024-09-24

[9]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖安七 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117853394A ,2024-04-09

[10]

磁共振设备扫描系统、扫描方法及计算机可读存储介质 [P].

宗金光 .

中国专利 :CN107669273B ,2018-02-09

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