晶圆缺陷监测方法及系统和计算机存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910798068.1

申请日：

2019-08-27

公开(公告)号：

CN110517969B

公开(公告)日：

2019-11-29

发明(设计)人：

胡家航宋俊丽严啓志冯巍周伦潮

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20190827
2022-09-02	授权	授权
2019-11-29	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测系统及检测方法和计算机存储介质 [P].

胡向华 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 ;

龙吟 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN109065467A ,2018-12-21

[2]

晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质 [P].

李翠丽 .

中国专利 :CN112614790B ,2024-01-23

[3]

晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质 [P].

李翠丽 .

中国专利 :CN112614790A ,2021-04-06

[4]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

张嵩 ;

肖安七 .

中国专利 :CN117853392A ,2024-04-09

[5]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖安七 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117853394A ,2024-04-09

[6]

晶圆的缺陷检测方法、系统、电子设备及计算机存储介质 [P].

李龙 ;

马强强 .

中国专利 :CN117594469A ,2024-02-23

[7]

晶圆缺陷的检测方法、检测系统和计算机可读存储介质 [P].

周静兰 ;

谢真良 ;

徐杨喆 .

中国专利 :CN111863653A ,2020-10-30

[8]

晶圆缺陷检测图像的处理方法、设备及计算机存储介质 [P].

刘成成 ;

韩春营 .

中国专利 :CN120125511A ,2025-06-10

[9]

晶边缺陷自动对焦系统及方法和计算机存储介质 [P].

王高宇 .

中国专利 :CN113079318A ,2021-07-06

[10]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质 [P].

刘洁 ;

冯朋 ;

陈代高 ;

肖希 ;

程庚 ;

范雨龙 ;

周旭 .

中国专利 :CN119599975A ,2025-03-11

← 1 2 3 4 5 →