晶圆缺陷的检测方法、检测系统和计算机可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010761836.9

申请日：

2020-07-31

公开(公告)号：

CN111863653A

公开(公告)日：

2020-10-30

发明(设计)人：

周静兰谢真良徐杨喆

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

霍文娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20200731
2021-07-16	授权	授权
2020-10-30	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

张嵩 ;

肖安七 .

中国专利 :CN117853392A ,2024-04-09

[2]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖安七 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117853394A ,2024-04-09

[3]

晶圆缺陷检测系统及检测方法和计算机存储介质 [P].

胡向华 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 ;

龙吟 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN109065467A ,2018-12-21

[4]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质 [P].

刘洁 ;

冯朋 ;

陈代高 ;

肖希 ;

程庚 ;

范雨龙 ;

周旭 .

中国专利 :CN119599975A ,2025-03-11

[5]

缺陷检测方法、缺陷检测装置和计算机可读存储介质 [P].

冯豪文 ;

郭师峰 ;

吕高龙 ;

陈丹 ;

冯伟 .

中国专利 :CN113536894A ,2021-10-22

[6]

缺陷检测方法、缺陷检测装置和计算机可读存储介质 [P].

陈振州 ;

江少波 ;

时广军 .

中国专利 :CN117805142A ,2024-04-02

[7]

缺陷检测方法、设备、系统和计算机可读存储介质 [P].

肖枭 ;

时清凯 ;

周金果 ;

范刚 ;

张川 .

中国专利 :CN109426614A ,2019-03-05

[8]

缺陷检测方法、装置和计算机可读存储介质 [P].

王家霈 .

中国专利 :CN117764945A ,2024-03-26

[9]

晶圆缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质 [P].

蔡刘根 ;

章军 .

中国专利 :CN120352431A ,2025-07-22

[10]

缺陷的检测方法、装置和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

佟异 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112767396B ,2021-05-07

← 1 2 3 4 5 →