晶圆缺陷检测机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320199474.4

申请日：

2013-04-19

公开(公告)号：

CN203203942U

公开(公告)日：

2013-09-18

发明(设计)人：

陈勇吉

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市关东路225号7楼

IPC主分类号：

G01N2189

IPC分类号：

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

王正茂;丛芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[2]

缺陷检测机台监测晶圆缺陷的方法 [P].

张兴棣 ;

范荣伟 ;

王恺 .

中国专利 :CN110581082A ,2019-12-17

[3]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[4]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[5]

一种晶圆缺陷检测装置及方法 [P].

王通 ;

王潇斐 .

中国专利 :CN111855662A ,2020-10-30

[6]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[7]

晶圆缺陷扫描方法及晶圆缺陷扫描机台 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

顾珍 .

中国专利 :CN102890089B ,2013-01-23

[8]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 ;

毕迪 .

中国专利 :CN111553897A ,2020-08-18

[9]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 .

中国专利 :CN112201596B ,2024-11-05

[10]

晶圆缺陷检测设备 [P].

叶莹 .

中国专利 :CN112466787B ,2025-03-14

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