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晶圆缺陷检测方法、晶圆缺陷检测设备及其拍摄装置

被引：0
申请号：
CN202211036534.0
申请日：
2022-08-29
公开(公告)号：
CN115128099A
公开(公告)日：
2022-09-30
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
215153 江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室
IPC主分类号：
G01N2195
IPC分类号：
G01N2188 G01N2101
代理机构：
北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11804
代理人：
陈姗姗
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-09-30 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
金德容 ;
吴容哲 ;
曲扬 .
中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06
[2]
晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
夏正浩 ;
张康 ;
林威 ;
罗明浩 .
中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28
[3]
晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
杨峰 ;
林瑶 ;
王明明 ;
韩永琪 .
中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28
[4]
晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P]. 
王曜 ;
李磊 .
中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28
[5]
晶圆缺陷检测方法 [P]. 
李军 ;
何广智 ;
倪棋梁 .
中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13
[6]
晶圆缺陷检测方法 [P]. 
倪棋梁 ;
陈宏璘 ;
龙吟 ;
王恺 .
中国专利 :CN103646889A ,2014-03-19
[7]
晶圆缺陷检测方法 [P]. 
李军 ;
何广智 ;
倪棋梁 .
中国专利 :CN115471475B ,2025-10-14
[8]
晶圆缺陷检测方法 [P]. 
倪棋梁 ;
陈宏璘 ;
龙吟 .
中国专利 :CN104103545A ,2014-10-15
[9]
晶圆缺陷检测设备 [P]. 
叶莹 ;
毕迪 .
中国专利 :CN111553897A ,2020-08-18
[10]
晶圆缺陷检测设备 [P]. 
叶莹 .
中国专利 :CN112201596B ,2024-11-05
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