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一种晶圆片缺陷检测方法及设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311461440.2
申请日：
2023-11-06
公开(公告)号：
CN117612958A
公开(公告)日：
2024-02-27
发明(设计)人：
黄磊
姚政鹏
申请人：
浙江昕微电子科技有限公司
申请人地址：
311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道文种路7号1号楼1层104厂房
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01D21/02
G01N21/88
H01L21/67
B07C5/16
B07C5/34
B07C5/04
代理机构：
重庆壹手知专利代理事务所(普通合伙) 50267
代理人：
张荣波
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
浙江省
绍兴市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-30 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L 21/66申请公布日:20240227 |
| 2024-02-27 | 公开 | 公开 |
| 2024-03-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20231106 |