一种晶圆缺陷检测设备及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411909370.7

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119355011A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

尹振圆郑学刚

申请人：

佛山德玛特智能装备科技有限公司

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区丹灶镇建沙路东二区1号联东优谷北苑15座101-102室

IPC主分类号：

G01N23/04

IPC分类号：

代理机构：

广东广盈专利商标事务所(普通合伙) 44339

代理人：

杨乐兵

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省佛山市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 23/04申请日:20241224
2025-03-21	授权	授权
2025-01-24	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆缺陷检测设备及检测方法 [P].

尹振圆 ;

郑学刚 .

中国专利 :CN119355011B ,2025-03-21

[2]

一种晶圆缺陷检测设备及检测方法 [P].

王菲 ;

赵威威 ;

黄崇基 .

中国专利 :CN118883564B ,2025-07-15

[3]

一种晶圆缺陷检测设备及检测方法 [P].

王菲 ;

赵威威 ;

黄崇基 .

中国专利 :CN118883564A ,2024-11-01

[4]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[5]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[6]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[7]

晶圆缺陷检测光源、设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

夏正浩 ;

张康 ;

林威 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN119715566A ,2025-03-28

[8]

晶圆缺陷检测方法及设备 [P].

林家圣 .

中国专利 :CN116777815B ,2025-10-28

[9]

晶圆缺陷检测方法及设备 [P].

惠家瑞 ;

仝临杰 ;

付子成 .

中国专利 :CN117630038A ,2024-03-01

[10]

晶圆缺陷检测方法、晶圆缺陷检测设备及其拍摄装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115128099A ,2022-09-30

← 1 2 3 4 5 →