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晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202410428668.X
申请日
:
2024-04-10
公开(公告)号
:
CN118212218A
公开(公告)日
:
2024-06-18
发明(设计)人
:
陈子健
侯晓峰
朱磊
张弛
申请人
:
上海感图网络科技有限公司
申请人地址
:
201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C102室
IPC主分类号
:
G06T7/00
IPC分类号
:
G06T7/73
G06T7/90
G06N3/04
G06N3/08
代理机构
:
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260
代理人
:
郭慧
法律状态
:
公开
国省代码
:
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-06-18
公开
公开
2024-07-05
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20240410
共 50 条
[1]
晶圆缺陷检测方法、系统、设备以及存储介质
[P].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王泉
;
王梦楠
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡学院
无锡学院
王梦楠
;
论文数:
引用数:
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机构:
孙家栋
.
中国专利
:CN120495226A
,2025-08-15
[2]
晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
[P].
赵文政
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥喆塔科技有限公司
合肥喆塔科技有限公司
赵文政
;
刘林平
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥喆塔科技有限公司
合肥喆塔科技有限公司
刘林平
.
中国专利
:CN120259243A
,2025-07-04
[3]
晶圆背面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
[P].
侯晓峰
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海感图网络科技有限公司
上海感图网络科技有限公司
侯晓峰
;
朱磊
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海感图网络科技有限公司
上海感图网络科技有限公司
朱磊
;
张弛
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
上海感图网络科技有限公司
上海感图网络科技有限公司
张弛
;
吴琪
论文数:
0
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0
机构:
上海感图网络科技有限公司
上海感图网络科技有限公司
吴琪
;
刘远刚
论文数:
0
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0
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0
机构:
上海感图网络科技有限公司
上海感图网络科技有限公司
刘远刚
.
中国专利
:CN119228773A
,2024-12-31
[4]
晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
[P].
梅爽
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
梅爽
;
王祥铜
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
王祥铜
;
华凯
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
华凯
;
周恒
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
周恒
;
李华君
论文数:
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
李华君
;
胡彦潮
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
胡彦潮
.
中国专利
:CN117994250B
,2024-06-21
[5]
晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
[P].
梅爽
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
梅爽
;
王祥铜
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
王祥铜
;
华凯
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
华凯
;
周恒
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
周恒
;
李华君
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0
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0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
李华君
;
胡彦潮
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
胡彦潮
.
中国专利
:CN117994250A
,2024-05-07
[6]
自适应晶圆缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质
[P].
陈斌
论文数:
0
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0
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0
机构:
哈尔滨工业大学重庆研究院
哈尔滨工业大学重庆研究院
陈斌
;
王君逸
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0
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0
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0
机构:
哈尔滨工业大学重庆研究院
哈尔滨工业大学重庆研究院
王君逸
;
张元
论文数:
0
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0
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0
机构:
哈尔滨工业大学重庆研究院
哈尔滨工业大学重庆研究院
张元
.
中国专利
:CN116485779B
,2024-01-30
[7]
晶圆缺陷检测方法和装置、设备及存储介质
[P].
马卫民
论文数:
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0
马卫民
;
韩春营
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0
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0
韩春营
;
俞宗强
论文数:
0
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俞宗强
;
蒋俊海
论文数:
0
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蒋俊海
;
黄守艳
论文数:
0
引用数:
0
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0
黄守艳
;
乔静
论文数:
0
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0
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0
乔静
;
任耀辉
论文数:
0
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0
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0
任耀辉
.
中国专利
:CN114723650A
,2022-07-08
[8]
晶圆缺陷检测方法、装置、设备及系统、存储介质
[P].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
陈鲁
;
汪辉
论文数:
0
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0
机构:
深圳中科飞测科技股份有限公司
深圳中科飞测科技股份有限公司
汪辉
;
张鹏斌
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳中科飞测科技股份有限公司
深圳中科飞测科技股份有限公司
张鹏斌
;
张嵩
论文数:
0
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0
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0
机构:
深圳中科飞测科技股份有限公司
深圳中科飞测科技股份有限公司
张嵩
.
中国专利
:CN118229609A
,2024-06-21
[9]
晶圆缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质
[P].
杨义禄
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉中导光电设备有限公司
武汉中导光电设备有限公司
杨义禄
;
孙杰
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉中导光电设备有限公司
武汉中导光电设备有限公司
孙杰
;
张国栋
论文数:
0
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0
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0
机构:
武汉中导光电设备有限公司
武汉中导光电设备有限公司
张国栋
;
李波
论文数:
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0
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机构:
武汉中导光电设备有限公司
武汉中导光电设备有限公司
李波
.
中国专利
:CN118115447A
,2024-05-31
[10]
晶圆外观缺陷检测方法、装置、设备及存储介质
[P].
梅爽
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
梅爽
;
王祥铜
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
王祥铜
;
华凯
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
华凯
;
胡彦潮
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
武汉罗博半导体科技有限公司
武汉罗博半导体科技有限公司
胡彦潮
.
中国专利
:CN120612315A
,2025-09-09
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