晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510343172.7

申请日：

2025-04-24

公开(公告)号：

CN120259243A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

赵文政刘林平

申请人：

合肥喆塔科技有限公司上海喆塔信息科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区合肥片区高新区创新大道2800号创新产业园二期F4#601

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06N3/0455 G06N3/096 G06N3/084

代理机构：

兴东知识产权代理有限公司 34148

代理人：

尹冬平

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	公开	公开
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250424

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

陈子健 ;

侯晓峰 ;

朱磊 ;

张弛 .

中国专利 :CN118212218A ,2024-06-18

[2]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

王祥铜 ;

华凯 ;

周恒 ;

李华君 ;

胡彦潮 .

中国专利 :CN117994250B ,2024-06-21

[3]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

王祥铜 ;

华凯 ;

周恒 ;

李华君 ;

胡彦潮 .

中国专利 :CN117994250A ,2024-05-07

[4]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品 [P].

陈志科 ;

胡辰 ;

王森 .

中国专利 :CN119904412A ,2025-04-29

[5]

晶圆缺陷检测方法和装置、设备及存储介质 [P].

马卫民 ;

韩春营 ;

俞宗强 ;

蒋俊海 ;

黄守艳 ;

乔静 ;

任耀辉 .

中国专利 :CN114723650A ,2022-07-08

[6]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及系统、存储介质 [P].

陈鲁 ;

汪辉 ;

张鹏斌 ;

张嵩 .

中国专利 :CN118229609A ,2024-06-21

[7]

晶圆背面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

侯晓峰 ;

朱磊 ;

张弛 ;

吴琪 ;

刘远刚 .

中国专利 :CN119228773A ,2024-12-31

[8]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质 [P].

杨义禄 ;

孙杰 ;

张国栋 ;

李波 .

中国专利 :CN118115447A ,2024-05-31

[9]

晶圆外观缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

王祥铜 ;

华凯 ;

胡彦潮 .

中国专利 :CN120612315A ,2025-09-09

[10]

晶圆缺陷检测方法、系统、设备以及存储介质 [P].

王泉 ;

王梦楠 ;

孙家栋 .

中国专利 :CN120495226A ,2025-08-15

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