一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置

被引：0

申请号：

CN202211279879.9

申请日：

2022-10-19

公开(公告)号：

CN115527899A

公开(公告)日：

2022-12-27

发明(设计)人：

叶莹张庆鲍伟成王文广祝佳辉梁烁王旭晨张冬峰

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道特1号国际企业中心三期1栋4层03号D295室(自贸区武汉片区)

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

张聪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20221019
2022-12-27	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆检测装置及晶圆装载设备 [P].

徐益飞 ;

吴灿 ;

杜振东 ;

孟恒 ;

赵毅斌 ;

雷传 .

中国专利 :CN221650234U ,2024-09-03

[2]

晶圆装载装置及晶圆检测设备 [P].

曾安 ;

唐寿鸿 ;

陈建强 ;

朱充 .

中国专利 :CN114743912A ,2022-07-12

[3]

晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P].

张效进 ;

蒋开伟 .

中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07

[4]

晶圆装载结构及晶圆传输装置 [P].

吴庆东 ;

汪金梅 ;

李炜 ;

李晓标 ;

黄俊 .

中国专利 :CN223167466U ,2025-07-29

[5]

晶圆检测装置和晶圆定位装置 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN202770777U ,2013-03-06

[6]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[7]

用于晶圆自动装载设备的晶圆检测装置 [P].

张冬峰 ;

潘学军 ;

叶莹 .

中国专利 :CN114300376A ,2022-04-08

[8]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[9]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[10]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

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