晶圆装载结构及晶圆传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422394723.6

申请日：

2024-09-29

公开(公告)号：

CN223167466U

公开(公告)日：

2025-07-29

发明(设计)人：

吴庆东汪金梅李炜李晓标黄俊

申请人：

上海新傲科技股份有限公司

申请人地址：

201821 上海市嘉定区新徕路200号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆装载装置及晶圆传输设备 [P].

薛增辉 ;

孟亚东 ;

张胜森 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN222146166U ,2024-12-10

[2]

晶圆检测装置及晶圆装载设备 [P].

徐益飞 ;

吴灿 ;

杜振东 ;

孟恒 ;

赵毅斌 ;

雷传 .

中国专利 :CN221650234U ,2024-09-03

[3]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[4]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[5]

晶圆传输装置 [P].

王大为 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954942U ,2019-06-07

[6]

晶圆传输装置 [P].

许亮 ;

于祯鑫 ;

吴新江 .

中国专利 :CN202003971U ,2011-10-05

[7]

晶圆传输装置 [P].

关聪 .

中国专利 :CN223155985U ,2025-07-25

[8]

晶圆传输装置 [P].

史小宝 .

中国专利 :CN201466013U ,2010-05-12

[9]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[10]

晶圆缓存机构及晶圆传输装置 [P].

孟亚东 ;

张庆 ;

王文广 ;

鲍伟成 ;

梁烁 ;

薛增辉 .

中国专利 :CN115188698B ,2022-12-09

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