晶圆传输装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120078264.0

申请日：

2011-03-23

公开(公告)号：

CN202003971U

公开(公告)日：

2011-10-05

发明(设计)人：

许亮于祯鑫吴新江

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20110323 授权公告日:20111005 终止日期:20190323
2011-10-05	授权	授权
2013-05-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101588006059 IPC(主分类):H01L 21/677 专利号:ZL2011200782640 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130419

共 50 条

[1]

晶圆传输装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222980479U ,2025-06-13

[2]

晶圆传输装置 [P].

王大为 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN208954942U ,2019-06-07

[3]

晶圆传输装置 [P].

关聪 .

中国专利 :CN223155985U ,2025-07-25

[4]

晶圆传输装置 [P].

史小宝 .

中国专利 :CN201466013U ,2010-05-12

[5]

一种半导体晶圆传输装置 [P].

刘恩龙 ;

杨琦 ;

张贤龙 ;

中岛隆志 ;

川辺哲也 ;

张加峰 ;

曹洁 ;

张菊 ;

董怀宝 ;

马刚 ;

董阳 ;

李莹莹 ;

乐佳浩 .

中国专利 :CN216213326U ,2022-04-05

[6]

晶圆装载结构及晶圆传输装置 [P].

吴庆东 ;

汪金梅 ;

李炜 ;

李晓标 ;

黄俊 .

中国专利 :CN223167466U ,2025-07-29

[7]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[8]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

[9]

晶圆传输装置 [P].

李海楠 ;

朱道峰 ;

马南 ;

要博卿 ;

刘哲伟 ;

张宝庆 ;

贾燕 .

中国专利 :CN119208225A ,2024-12-27

[10]

晶圆传输装置 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

郑家旺 ;

陈祥玉 ;

王同庆 ;

李昆 ;

路新春 .

中国专利 :CN106449510A ,2017-02-22

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