一种晶圆装载装置及晶圆传输设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323660274.7

申请日：

2023-12-29

公开(公告)号：

CN222146166U

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

薛增辉孟亚东张胜森冯启异叶莹

申请人：

上海果纳半导体技术有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

顾品荧

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆装载结构及晶圆传输装置 [P].

吴庆东 ;

汪金梅 ;

李炜 ;

李晓标 ;

黄俊 .

中国专利 :CN223167466U ,2025-07-29

[2]

晶圆检测装置及晶圆装载设备 [P].

徐益飞 ;

吴灿 ;

杜振东 ;

孟恒 ;

赵毅斌 ;

雷传 .

中国专利 :CN221650234U ,2024-09-03

[3]

晶圆装载装置及晶圆检测设备 [P].

曾安 ;

唐寿鸿 ;

陈建强 ;

朱充 .

中国专利 :CN114743912A ,2022-07-12

[4]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[5]

晶圆传输设备及晶圆传输系统 [P].

庄协兴 ;

杨东儒 .

中国专利 :CN118156195A ,2024-06-07

[6]

晶圆传输接口及晶圆传输设备 [P].

叶莹 ;

鲍伟成 ;

张庆 ;

王文广 ;

王旭晨 ;

祝佳辉 .

中国专利 :CN115440644A ,2022-12-06

[7]

晶圆检测装置及晶圆传输设备 [P].

王宝林 ;

李伟 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN118658799A ,2024-09-17

[8]

晶圆装载装置 [P].

张恒 ;

计骏 ;

周琦 .

中国专利 :CN206363994U ,2017-07-28

[9]

晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P].

张效进 ;

蒋开伟 .

中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07

[10]

晶圆传输设备 [P].

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

张胜森 ;

孟亚东 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117316846B ,2024-03-08

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