一种晶圆存放装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511200026.5

申请日：

2025-08-26

公开(公告)号：

CN120727623A

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

詹东朱绍琦葛敬昌薛增辉张胜森张欢叶莹

申请人：

上海果纳半导体技术有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区博艺路99号、111号6幢1层101室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/673 G01V8/20

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

张聪

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	公开	公开
2025-11-25	授权	授权
2025-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250826

共 50 条

[1]

一种晶圆存放装置 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120727623B ,2025-11-25

[2]

一种晶圆存放装置的晶圆检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749051B ,2025-11-25

[3]

一种晶圆存放装置的晶圆检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749051A ,2025-10-03

[4]

晶圆存放装置 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749052A ,2025-10-03

[5]

晶圆存放装置 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120749052B ,2025-11-25

[6]

晶圆存放装置及检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120709205B ,2025-11-25

[7]

晶圆存放装置及检测方法 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120709205A ,2025-09-26

[8]

一种晶圆存放装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220491856U ,2024-02-13

[9]

一种晶圆存放装置 [P].

吴继勇 .

中国专利 :CN216648247U ,2022-05-31

[10]

晶圆盒存放装置 [P].

张庆 ;

叶莹 .

中国专利 :CN119340254B ,2025-04-22

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