一种晶圆存放装置

被引：0

申请号：

CN202123111380.0

申请日：

2021-12-13

公开(公告)号：

CN216648247U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

吴继勇

申请人：

申请人地址：

223800 江苏省宿迁市宿城区宿城经济开发区西区古城路10号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆存放装置 [P].

孔彬 ;

相宇阳 ;

戴金方 ;

耿晓杨 .

中国专利 :CN220491856U ,2024-02-13

[2]

一种多型号晶圆存放装置 [P].

陈宏成 ;

沈震 .

中国专利 :CN221758163U ,2024-09-24

[3]

一种晶圆无尘存放装置 [P].

江莹珏 .

中国专利 :CN223092833U ,2025-07-11

[4]

一种晶圆存放盒 [P].

黄晓辉 ;

周永昌 ;

董琪琪 .

中国专利 :CN216288340U ,2022-04-12

[5]

一种晶圆存放支架 [P].

王志姣 ;

张平亚 .

中国专利 :CN223130677U ,2025-07-22

[6]

一种晶圆存放盒 [P].

邵国艳 ;

黄媛媛 ;

谢焕枫 .

中国专利 :CN217468357U ,2022-09-20

[7]

一种晶圆存放装置 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120727623B ,2025-11-25

[8]

一种晶圆存放装置 [P].

詹东 ;

朱绍琦 ;

葛敬昌 ;

薛增辉 ;

张胜森 ;

张欢 ;

叶莹 .

中国专利 :CN120727623A ,2025-09-30

[9]

一种半导体晶圆存放装置 [P].

侯喜明 ;

韩建良 .

中国专利 :CN220553413U ,2024-03-01

[10]

一种晶圆片的存放装置 [P].

张栖源 .

中国专利 :CN207852636U ,2018-09-11

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