细微图案化用表面化学处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380073044.0

申请日：

2013-02-14

公开(公告)号：

CN104994964B

公开(公告)日：

2015-10-21

发明(设计)人：

内山一美中嶋秀杨明曾湖烈菅原義之西本尚弘

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

B01J1900 B05B1504

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B05C 5/02 申请日:20130214 授权公告日:20170510 终止日期:20210214
2015-10-21	公开	公开
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633527752 IPC(主分类):B05C 5/02 专利申请号:2013800730440 申请日:20130214
2017-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

镁合金表面化学处理溶液及表面化学处理方法 [P].

贺东奎 ;

宋蕾 ;

赵言辉 ;

穆锦珲 .

中国专利 :CN102220576B ,2011-10-19

[2]

一种铝材表面化学处理装置 [P].

王乾坤 ;

史兴泽 ;

雷将军 .

中国专利 :CN215925075U ,2022-03-01

[3]

一种表面化学处理装置 [P].

张珍燕 .

中国专利 :CN108687607A ,2018-10-23

[4]

掩膜表面化学处理方法及系统 [P].

苏益辰 ;

许庭豪 ;

秦圣基 ;

李宏仁 ;

谢弘璋 ;

辜耀进 .

中国专利 :CN101556430A ,2009-10-14

[5]

一种新型表面化学处理装置 [P].

张珍燕 .

中国专利 :CN108673290A ,2018-10-19

[6]

一种用于石英表面化学处理的装置 [P].

韩皓 ;

赵树君 ;

邢洪超 .

中国专利 :CN221917815U ,2024-10-29

[7]

一种双向拉伸薄膜表面化学处理设备 [P].

李绪猛 ;

梁仙发 ;

刘晓军 .

中国专利 :CN212237971U ,2020-12-29

[8]

表面化学处理制程线线上废水废液零排放循环回用处理装置 [P].

林衍良 .

中国专利 :CN212102366U ,2020-12-08

[9]

一种玻璃瓶表面化学处理方法 [P].

汪晓玲 .

中国专利 :CN102206047A ,2011-10-05

[10]

一种铝制部件表面化学处理槽结构 [P].

安炳烈 ;

王琨 .

中国专利 :CN119372737A ,2025-01-28

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