一种用于石英表面化学处理的装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420642587.5
申请日
2024-03-29
公开(公告)号
CN221917815U
公开(公告)日
2024-10-29
发明(设计)人
韩皓 赵树君 邢洪超
申请人
辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限公司
申请人地址
110000 辽宁省沈阳市沈抚示范区沈东四路89号
IPC主分类号
C03C15/00
IPC分类号
代理机构
沈阳工匠智诚知识产权代理事务所(普通合伙) 21256
代理人
孙楠
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
石英表面化学粗糙处理方法 [P]. 
米山 .
中国专利 :CN101367618A ,2009-02-18
[2]
石英表面化学粗糙处理方法 [P]. 
吕辉强 .
中国专利 :CN110510886A ,2019-11-29
[3]
一种双向拉伸薄膜表面化学处理设备 [P]. 
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[5]
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[8]
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[9]
一种表面化学处理装置 [P]. 
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[10]
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