膜形成装置及膜形成方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201780042983.7
申请日
2017-08-09
公开(公告)号
CN109562407B
公开(公告)日
2019-04-02
发明(设计)人
冈本裕司
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
B05C1100
IPC分类号
B05C500 B05C1110 B05D126 B05D136 B05D300 G01B1124 G01N21956
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
郝传鑫
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
膜形成方法及膜形成装置 [P]. 
冈本裕司 .
中国专利 :CN104907227B ,2015-09-16
[2]
膜形成装置及膜形成方法 [P]. 
冈本裕司 .
中国专利 :CN105499069A ,2016-04-20
[3]
膜形成装置及膜形成方法 [P]. 
坂井 光广 ;
川口 义广 .
中国专利 :CN103043915A ,2013-04-17
[4]
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中国专利 :CN112655074A ,2021-04-13
[5]
涂布膜形成方法和涂布膜形成装置 [P]. 
上塘真吾 .
中国专利 :CN110609447A ,2019-12-24
[6]
涂布膜形成装置和涂布膜形成方法 [P]. 
吉原孝介 ;
稻田博一 .
中国专利 :CN1924704A ,2007-03-07
[7]
密封膜形成装置和密封膜形成方法 [P]. 
山下雅充 ;
中北和德 ;
山本清人 .
中国专利 :CN107849693A ,2018-03-27
[8]
涂布膜形成方法以及涂布膜形成装置 [P]. 
稻叶翔吾 .
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[9]
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中国专利 :CN100389886C ,2003-08-06
[10]
涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法及涂布膜形成装置 [P]. 
元村秀峰 .
中国专利 :CN1817484A ,2006-08-16