膜形成装置及膜形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210379859.9

申请日：

2012-10-09

公开(公告)号：

CN103043915A

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

坂井　光广川口　义广

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C03C1700

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

王璐

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	公开	公开
2016-07-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735270914 IPC(主分类):C03C 17/00 专利申请号:2012103798599 申请公布日:20130417
2014-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582143006 IPC(主分类):C03C 17/00 专利申请号:2012103798599 申请日:20121009

共 50 条

[1]

膜形成方法及膜形成装置 [P].

冈本裕司 .

中国专利 :CN104907227B ,2015-09-16

[2]

膜形成装置及膜形成方法 [P].

冈本裕司 .

中国专利 :CN109562407B ,2019-04-02

[3]

涂布膜形成方法 [P].

三宅雅士 ;

道平创 .

中国专利 :CN112154034B ,2020-12-29

[4]

膜形成方法和膜形成装置 [P].

上田哲人 .

中国专利 :CN114919310A ,2022-08-19

[5]

膜形成装置和膜形成方法 [P].

小泽康博 ;

吉冈正博 .

中国专利 :CN105960288B ,2016-09-21

[6]

膜形成方法和膜形成装置 [P].

上田哲人 .

日本专利 :CN114919310B ,2024-01-02

[7]

涂布膜形成方法以及涂布膜形成装置 [P].

稻叶翔吾 .

中国专利 :CN112655074A ,2021-04-13

[8]

涂布膜形成方法和涂布膜形成装置 [P].

上塘真吾 .

中国专利 :CN110609447A ,2019-12-24

[9]

涂布膜形成方法以及涂布膜形成装置 [P].

稻叶翔吾 .

日本专利 :CN112655074B ,2024-07-12

[10]

涂布膜的干燥方法、涂布膜的形成方法、及涂布膜形成装置 [P].

元村秀峰 .

中国专利 :CN100389886C ,2003-08-06

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