一种高纯钌溅射靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810661515.4

申请日：

2018-06-25

公开(公告)号：

CN108642464A

公开(公告)日：

2018-10-12

发明(设计)人：

逯峙游龙郭帅东王广欣韩超张鹏飞杨斌闫焉服孙浩亮李海涛

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市涧西区西苑路48号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

B22F904 B22F314

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

时亚娟

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20221026 变更事项:专利权人变更前权利人:河南科技大学变更后权利人:广州海普电子材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:471000 河南省洛阳市涧西区西苑路48号变更后权利人:510000 广东省广州市增城区宁西街香山大道51号1号楼5层505
2018-10-12	公开	公开
2020-08-28	授权	授权
2018-11-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180625

共 50 条

[1]

一种高纯钴溅射靶材的制备方法、高纯钴溅射靶材及应用 [P].

王兴权 ;

李勇军 ;

罗俊锋 ;

何金江 ;

徐国进 ;

丁照崇 ;

刘丹 ;

朱孜毅 .

中国专利 :CN116288237B ,2025-09-02

[2]

一种钌溅射靶材的制备方法 [P].

文崇斌 ;

朱刘 ;

于金凤 ;

余芳 ;

曾成亮 ;

程其兵 .

中国专利 :CN107805789A ,2018-03-16

[3]

一种高纯铝管溅射靶材的制备方法 [P].

吴本明 ;

文宏福 .

中国专利 :CN110484874A ,2019-11-22

[4]

一种高纯钛溅射靶材的制备方法 [P].

王旭彪 ;

吴金平 ;

刘承泽 ;

王作华 ;

刘未 .

中国专利 :CN120138584B ,2025-08-12

[5]

一种高纯铜溅射靶材的制备方法 [P].

赵忠耿 .

中国专利 :CN102146554A ,2011-08-10

[6]

一种高纯钼溅射靶材的制备方法 [P].

安耿 ;

刘仁智 ;

李晶 ;

历学武 .

中国专利 :CN101956159A ,2011-01-26

[7]

一种高纯钼溅射靶材的制备方法 [P].

田长对 .

中国专利 :CN109811318A ,2019-05-28

[8]

一种高纯钛溅射靶材的制备方法 [P].

王旭彪 ;

吴金平 ;

刘承泽 ;

王作华 ;

刘未 .

中国专利 :CN120138584A ,2025-06-13

[9]

一种高纯铝管溅射靶材的制备方法 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 .

中国专利 :CN115106725A ,2022-09-27

[10]

一种钌金属溅射靶材的制备方法 [P].

罗俊锋 ;

丁照崇 ;

何金江 ;

王欣平 ;

江轩 .

中国专利 :CN102485378B ,2012-06-06

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