关键尺寸测量系统和使用其测量关键尺寸的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811117478.7

申请日：

2018-09-20

公开(公告)号：

CN109540050B

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

朴爰柱李亨周崔硕桓南东锡韩允泽

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G01B1500

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

邵亚丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	授权	授权
2019-03-29	公开	公开
2020-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 15/00 申请日:20180920

共 50 条

[1]

关键尺寸测量方法和系统 [P].

刘明悬 ;

郭总杰 ;

刘正 ;

张治超 ;

张小祥 ;

陈曦 .

中国专利 :CN104655019B ,2015-05-27

[2]

关键尺寸测量标记 [P].

邢滨 ;

张士健 .

中国专利 :CN204391103U ,2015-06-10

[3]

尺寸测量装置、尺寸测量方法、尺寸测量系统和程序 [P].

山本治美 ;

直原肇 .

中国专利 :CN105593637B ,2016-05-18

[4]

一种光学关键尺寸测量系统及其方法 [P].

陈慧萍 ;

张振生 ;

施耀明 ;

徐益平 .

中国专利 :CN107843190A ,2018-03-27

[5]

冰箱箱体关键尺寸自动测量系统 [P].

苗振海 .

中国专利 :CN206905701U ,2018-01-19

[6]

尺寸测量装置、尺寸测量方法以及尺寸测量系统 [P].

奥山裕 ;

大森健史 .

日本专利 :CN120021423A ,2025-05-20

[7]

关键尺寸测量设备的光源亮度调整系统和方法 [P].

徐德智 ;

陈程 ;

王雷 .

中国专利 :CN104658942A ,2015-05-27

[8]

基于小角X射线散射技术的关键尺寸测量系统及测量方法 [P].

杨春明 ;

周平 ;

边风刚 .

中国专利 :CN113624168A ,2021-11-09

[9]

尺寸测量装置及尺寸测量系统 [P].

李扬虎 ;

连登伟 ;

赵家声 .

中国专利 :CN218270601U ,2023-01-10

[10]

关键尺寸测试结构及其测量方法 [P].

闫彬斌 ;

姜淼 ;

李亮 ;

师江柳 ;

梁迪 .

中国专利 :CN119170600A ,2024-12-20

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