关键尺寸测量设备的光源亮度调整系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510112933.4

申请日：

2015-03-13

公开(公告)号：

CN104658942A

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

徐德智陈程王雷

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01B1100 G02F11335 G02F113

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614584330 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015101129334 申请日:20150313
2015-05-27	公开	公开
2018-10-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20150527

共 50 条

[1]

关键尺寸测量系统和使用其测量关键尺寸的方法 [P].

朴爰柱 ;

李亨周 ;

崔硕桓 ;

南东锡 ;

韩允泽 .

中国专利 :CN109540050B ,2019-03-29

[2]

关键尺寸测量装置的光量强度调整系统及调整方法 [P].

李向峰 ;

金基用 ;

周子卿 ;

贠向南 ;

许朝钦 ;

侯本光 ;

刘会双 .

中国专利 :CN103697812A ,2014-04-02

[3]

尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序 [P].

川泰孝 .

中国专利 :CN102628670A ,2012-08-08

[4]

关键尺寸测量方法和系统 [P].

刘明悬 ;

郭总杰 ;

刘正 ;

张治超 ;

张小祥 ;

陈曦 .

中国专利 :CN104655019B ,2015-05-27

[5]

尺寸测量设备、尺寸测量方法及用于尺寸测量设备的程序 [P].

川泰孝 .

中国专利 :CN102628669B ,2012-08-08

[6]

显示设备、亮度调整设备、调整亮度的方法和程序 [P].

森秀人 .

中国专利 :CN102292757A ,2011-12-21

[7]

基于学习模型的尺寸测量设备和方法 [P].

金宰镇 ;

金泰营 .

韩国专利 :CN119183518A ,2024-12-24

[8]

校准尺寸测量设备的方法 [P].

凯文·巴里·乔纳斯 .

中国专利 :CN107532893A ,2018-01-02

[9]

基于前值的关键尺寸测量方法和设备 [P].

张振生 ;

施耀明 ;

孙冬梅 ;

陈慧萍 .

中国专利 :CN106289095B ,2017-01-04

[10]

尺寸测量设备及其测量方法 [P].

魏云峰 ;

吴春福 .

中国专利 :CN108917576A ,2018-11-30

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