关键尺寸测量设备的光源亮度调整系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510112933.4

申请日：

2015-03-13

公开(公告)号：

CN104658942A

公开(公告)日：

2015-05-27

发明(设计)人：

徐德智陈程王雷

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01B1100 G02F11335 G02F113

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614584330 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015101129334 申请日:20150313
2015-05-27	公开	公开
2018-10-23	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20150527

共 50 条

[41]

手机尺寸测量方法和系统 [P].

余卫宇 ;

廖伟权 ;

孙宇飞 ;

钱少惠 .

中国专利 :CN105444678A ,2016-03-30

[42]

基于小角X射线散射技术的关键尺寸测量系统及测量方法 [P].

杨春明 ;

周平 ;

边风刚 .

中国专利 :CN113624168A ,2021-11-09

[43]

用于移动尺寸测量和称重的系统和方法 [P].

斯图尔特·坎贝尔 ;

保罗·史蒂文·海恩斯 .

中国专利 :CN111971534A ,2020-11-20

[44]

一种布料尺寸测量设备及方法 [P].

王红燕 .

中国专利 :CN108132035A ,2018-06-08

[45]

自动调整喷嘴机构缝隙尺寸的方法和控制和/或调整系统 [P].

沃尔德玛·科勒尔 ;

伯恩德-亚历山大·格罗普 ;

托斯滕·施米茨 ;

丹尼尔·福斯特曼 .

中国专利 :CN112118947A ,2020-12-22

[46]

测量显示面板亮度的方法 [P].

陈黎暄 .

中国专利 :CN108873404A ,2018-11-23

[47]

自动调整喷嘴机构缝隙尺寸的方法和控制和/或调整系统 [P].

沃尔德玛·科勒尔 ;

伯恩德-亚历山大·格罗普 ;

托斯滕·施米茨 ;

丹尼尔·福斯特曼 .

中国专利 :CN112118948A ,2020-12-22

[48]

LED模块亮度、色温自动调整系统和方法 [P].

魏洵佳 .

中国专利 :CN101742765A ,2010-06-16

[49]

一种便捷的皮革尺寸测量设备 [P].

陈启明 ;

林汉彬 ;

杨俊昇 ;

许维奇 ;

许燕杰 .

中国专利 :CN210108262U ,2020-02-21

[50]

测量光刻工艺的关键尺寸摇摆曲线的方法 [P].

安辉 .

中国专利 :CN102023486B ,2011-04-20

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