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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101614584330 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2015101129334 申请日:20150313 |
| 2015-05-27 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-23 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20150527 |