适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920973637.7

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN210267556U

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

张华廷陈家冰李强

申请人：

申请人地址：

400039 重庆市九龙坡区高新区石桥铺渝州路十七号

IPC主分类号：

F24F316

IPC分类号：

F24F1189 F24F1174 F24F1177 F24F1161 F24F1165 F24F11040

代理机构：

北京同恒源知识产权代理有限公司 11275

代理人：

阴知见

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-07	授权	授权

共 50 条

[1]

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法 [P].

张华廷 ;

陈家冰 ;

李强 .

中国专利 :CN110131811A ,2019-08-16

[2]

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法 [P].

张华廷 ;

陈家冰 ;

李强 .

中国专利 :CN110131811B ,2024-03-29

[3]

一种洁净室压差平衡控制系统 [P].

周继国 ;

叶发波 ;

熊燕飞 .

中国专利 :CN207299406U ,2018-05-01

[4]

基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法 [P].

马利英 ;

刘安琪 ;

姜莎 .

中国专利 :CN111412561A ,2020-07-14

[5]

适用于高级别洁净室的组合式快速流量控制系统 [P].

高佳伟 ;

丁丽 ;

汤贇 ;

杨立勇 .

中国专利 :CN221324662U ,2024-07-12

[6]

洁净室恒温恒湿PLC控制系统 [P].

马凯 ;

朱丽琴 ;

贺丽平 .

中国专利 :CN205245459U ,2016-05-18

[7]

一种洁净室压差变工况快速平衡控制系统 [P].

李新美 ;

刘守超 ;

王岑佳 ;

宋欣梅 ;

朱永放 ;

胡古月 .

中国专利 :CN217082868U ,2022-07-29

[8]

一种洁净室压差平衡控制系统 [P].

陈晓华 .

中国专利 :CN215490184U ,2022-01-11

[9]

洁净室压差控制装置 [P].

韩俊锋 ;

梁梦甲 ;

赵冰 ;

耿家兴 ;

刘梦洋 ;

段俊企 ;

侯迪 .

中国专利 :CN217178795U ,2022-08-12

[10]

一种洁净室压强节能控制系统 [P].

郭松 ;

邵续磊 ;

马成昊 ;

王亚娟 ;

赵保帅 ;

牛金辉 ;

郭岩雷 .

中国专利 :CN214370840U ,2021-10-08

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