基于MAU和DCC的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010127158.0

申请日：

2020-02-28

公开(公告)号：

CN111412561A

公开(公告)日：

2020-07-14

发明(设计)人：

马利英刘安琪姜莎

申请人：

申请人地址：

201108 上海市闵行区金都路4299号6幢2楼D91室

IPC主分类号：

F24F500

IPC分类号：

F24F314 F24F316 F24F1184 F24F1189 F24F1328 F24F1330

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-14	公开	公开
2020-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):F24F 5/00 申请日:20200228
2021-06-11	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):F24F 5/00 申请公布日:20200714

共 50 条

[1]

洁净室恒温恒湿PLC控制系统 [P].

马凯 ;

朱丽琴 ;

贺丽平 .

中国专利 :CN205245459U ,2016-05-18

[2]

洁净室恒温恒湿PLC控制系统 [P].

马凯 ;

朱丽琴 ;

贺丽平 .

中国专利 :CN105371448A ,2016-03-02

[3]

一种洁净室恒温恒湿控制系统 [P].

龚小渝 .

中国专利 :CN208431908U ,2019-01-25

[4]

洁净室控制系统和方法 [P].

R·华莱士 ;

S·J·陈 .

中国专利 :CN109312941B ,2019-02-05

[5]

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统 [P].

张华廷 ;

陈家冰 ;

李强 .

中国专利 :CN210267556U ,2020-04-07

[6]

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法 [P].

张华廷 ;

陈家冰 ;

李强 .

中国专利 :CN110131811A ,2019-08-16

[7]

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法 [P].

张华廷 ;

陈家冰 ;

李强 .

中国专利 :CN110131811B ,2024-03-29

[8]

一种洁净室恒温恒湿控制装置 [P].

周建平 ;

仝娜杰 ;

周丽平 ;

张志行 ;

张伟超 .

中国专利 :CN214249910U ,2021-09-21

[9]

一种全新风恒温恒湿控制系统和方法 [P].

黄乐之 ;

吴杰生 ;

陈锐群 ;

许思秒 .

中国专利 :CN107355954A ,2017-11-17

[10]

恒温恒湿控制系统 [P].

户晓英 ;

韩新彬 ;

杨亚芳 ;

赵尚仟 ;

穆如文 ;

杨亚南 ;

孙帅楠 ;

魏璐 .

中国专利 :CN223636342U ,2025-12-05

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