一种SmCo垂直磁各向异性薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010693696.6

申请日：

2020-07-17

公开(公告)号：

CN111962024B

公开(公告)日：

2020-11-20

发明(设计)人：

邱兆国魏卢曾德长郑志刚洪源

申请人：

申请人地址：

510640 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

C23C1416

IPC分类号：

C23C1458 C23C1435 H01F4118

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

齐键

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/16 申请日:20200717
2021-07-16	授权	授权
2020-11-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种具有垂直磁各向异性的磁性薄膜材料及其制备方法 [P].

李明华 ;

于广华 ;

陈喜 ;

施辉 ;

方帅 .

中国专利 :CN107958765A ,2018-04-24

[2]

一种垂直磁各向异性薄膜 [P].

徐晓光 ;

李晓其 ;

姜勇 .

中国专利 :CN101620915B ,2010-01-06

[3]

一种垂直磁各向异性薄膜及其制备方法 [P].

吕琴丽 ;

蔡建旺 .

中国专利 :CN102568743A ,2012-07-11

[4]

垂直磁各向异性磁记录薄膜的制备方法 [P].

吴华疆 .

中国专利 :CN109097737B ,2018-12-28

[5]

多层薄膜材料的垂直磁各向异性检测方法 [P].

徐秀兰 ;

郭日思 ;

黄意雅 ;

郭奇勋 ;

于广华 .

中国专利 :CN114002252A ,2022-02-01

[6]

一种具有垂直磁各向异性的磁性薄膜制备方法及磁性薄膜 [P].

于广华 ;

郭日思 ;

徐秀兰 ;

冯春 ;

李明华 .

中国专利 :CN113549884B ,2021-10-26

[7]

具有垂直磁各向异性的FePt磁性薄膜及其制造方法 [P].

关刚斎 ;

岛敏之 ;

高梨弘毅 ;

宝野和博 .

中国专利 :CN1768401A ,2006-05-03

[8]

一种增加铁磁薄膜材料的垂直磁各向异性的方法 [P].

徐秀兰 ;

黄意雅 ;

张辉 ;

冯春 ;

于广华 .

中国专利 :CN113421733B ,2021-09-21

[9]

磁控设备制备垂直磁各向异性隧道结薄膜及其制备方法 [P].

程厚义 ;

聂文豪 ;

杜寅昌 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN119824365A ,2025-04-15

[10]

一种轻金属基垂直磁各向异性薄膜及其制备方法 [P].

郭奇勋 ;

黄意雅 ;

徐秀兰 .

中国专利 :CN121078961A ,2025-12-05

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