磁控设备制备垂直磁各向异性隧道结薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510025007.7

申请日：

2025-01-07

公开(公告)号：

CN119824365A

公开(公告)日：

2025-04-15

发明(设计)人：

程厚义聂文豪杜寅昌李玉婷

申请人：

合肥致真精密设备有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区站北社区铜陵北路与西淝河路交叉口芯视界·科创大厦A栋9层

IPC主分类号：

C23C14/02

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/34

代理机构：

合肥市科深知识产权代理事务所(普通合伙) 34235

代理人：

李丹丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省安庆市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/02申请日:20250107
2025-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

垂直磁各向异性磁隧道结的基准层 [P].

M·G·戈特瓦尔德 ;

C·朴 ;

X·朱 ;

K·李 ;

S·H·康 .

中国专利 :CN106104697B ,2016-11-09

[2]

一种垂直磁各向异性薄膜及其制备方法 [P].

吕琴丽 ;

蔡建旺 .

中国专利 :CN102568743A ,2012-07-11

[3]

垂直磁各向异性磁记录薄膜的制备方法 [P].

吴华疆 .

中国专利 :CN109097737B ,2018-12-28

[4]

具有可调的高垂直磁各向异性的磁隧道结 [P].

薛林 ;

程志康 ;

王晓东 ;

马亨德拉·帕卡拉 ;

汪荣军 .

中国专利 :CN111868946A ,2020-10-30

[5]

具有可调的高垂直磁各向异性的磁隧道结 [P].

薛林 ;

程志康 ;

王晓东 ;

马亨德拉·帕卡拉 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN119053234A ,2024-11-29

[6]

具有可调的高垂直磁各向异性的磁隧道结 [P].

薛林 ;

程志康 ;

王晓东 ;

马亨德拉·帕卡拉 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN111868946B ,2024-08-13

[7]

一种具有强垂直磁各向异性的磁隧道结 [P].

赵巍胜 ;

彭守仲 ;

康旺 ;

张有光 .

中国专利 :CN107946456A ,2018-04-20

[8]

一种垂直磁各向异性薄膜 [P].

徐晓光 ;

李晓其 ;

姜勇 .

中国专利 :CN101620915B ,2010-01-06

[9]

一种SmCo垂直磁各向异性薄膜的制备方法 [P].

邱兆国 ;

魏卢 ;

曾德长 ;

郑志刚 ;

洪源 .

中国专利 :CN111962024B ,2020-11-20

[10]

一种具有垂直磁各向异性的异质结及其制备方法 [P].

安红雨 ;

叶志祥 ;

仇明侠 .

中国专利 :CN112746257A ,2021-05-04

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