磁场辅助化学气相沉积法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200610114717.4
申请日
2006-11-22
公开(公告)号
CN101190779B
公开(公告)日
2008-06-04
发明(设计)人
刘云圻 魏大程 曹灵超 付磊 李祥龙 王钰 于贵
申请人
申请人地址
100080 北京市海淀区中关村北一街2号
IPC主分类号
B82B300
IPC分类号
C23C16448
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
周国城
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
化学气相沉积法涂层装置 [P]. 
朴万成 ;
黄宇哲 ;
李成哲 ;
金哲男 ;
金上万 ;
李权星 ;
王宏刚 .
中国专利 :CN202214415U ,2012-05-09
[2]
化学气相沉积法涂层装置 [P]. 
朴万成 ;
黄宇哲 ;
李成哲 ;
金哲男 ;
金上万 ;
李权星 ;
王宏刚 .
中国专利 :CN102953049A ,2013-03-06
[3]
PA-SiN的化学气相沉积法 [P]. 
吴宾宾 .
中国专利 :CN1995452A ,2007-07-11
[4]
一种化学气相沉积法装置 [P]. 
李雪松 ;
王跃 ;
青芳竹 .
中国专利 :CN109371382A ,2019-02-22
[5]
由铱配合物构成的化学气相沉积用原料及使用该化学气相沉积用原料的化学气相沉积法 [P]. 
原田了辅 ;
重富利幸 ;
铃木和治 .
中国专利 :CN110431253A ,2019-11-08
[6]
通过化学气相沉积法合成有序微孔碳 [P]. 
Y·王 ;
杰马尔·埃尔詹 ;
M·拉什德·奥斯曼 ;
S·崔 ;
M·崔 .
中国专利 :CN107427812A ,2017-12-01
[7]
化学气相沉积法涂层系统及工艺 [P]. 
朴万成 ;
黄宇哲 ;
李成哲 ;
金哲男 ;
金上万 ;
李权星 ;
王宏刚 .
中国专利 :CN102953045B ,2013-03-06
[8]
包含有机铂化合物的化学气相沉积用原料及使用该化学气相沉积用原料的化学气相沉积法 [P]. 
斋藤昌幸 ;
铃木和治 ;
重富利幸 ;
锅谷俊一 .
中国专利 :CN103874705A ,2014-06-18
[9]
一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印机 [P]. 
谢颖熙 ;
张伯乐 ;
陆龙生 ;
汤勇 .
中国专利 :CN111441038A ,2020-07-24
[10]
一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法 [P]. 
谢颖熙 ;
张伯乐 ;
陆龙生 ;
汤勇 .
中国专利 :CN111394713B ,2020-07-10