一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410531380.1

申请日：

2014-10-10

公开(公告)号：

CN105480938B

公开(公告)日：

2016-04-13

发明(设计)人：

郑超冯霞李进

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81C300 B81B702

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;冯永贞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101659560790 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014105313801 申请日:20141010
2018-04-10	授权	授权
2016-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王伟 ;

刘炼 ;

郑超 ;

李卫刚 .

中国专利 :CN105439079A ,2016-03-30

[2]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN105565252A ,2016-05-11

[3]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王伟 ;

郑超 ;

闾新明 .

中国专利 :CN105984839A ,2016-10-05

[4]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

江卢山 ;

陈晓军 ;

刘煊杰 ;

郭亮良 ;

马军德 .

中国专利 :CN105084294A ,2015-11-25

[5]

MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王红海 .

中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15

[6]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

俞宏俊 .

中国专利 :CN108203075A ,2018-06-26

[7]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN106185788B ,2016-12-07

[8]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105776124A ,2016-07-20

[9]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN106348245A ,2017-01-25

[10]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

李志超 .

中国专利 :CN107226450A ,2017-10-03

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