一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610172658.X

申请日：

2016-03-24

公开(公告)号：

CN107226450A

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

伏广才李志超

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81C100 H04R3100

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;冯永贞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	公开	公开
2021-09-03	授权	授权
2017-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 3/00 申请日:20160324

共 50 条

[1]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

俞宏俊 .

中国专利 :CN108203075A ,2018-06-26

[2]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

张先明 ;

刘庆鹏 ;

万久平 .

中国专利 :CN106365109A ,2017-02-01

[3]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105848075A ,2016-08-10

[4]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

李卫刚 ;

王伟 .

中国专利 :CN105439078A ,2016-03-30

[5]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105992113B ,2016-10-05

[6]

MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王红海 .

中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15

[7]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王伟 ;

刘炼 ;

郑超 ;

李卫刚 .

中国专利 :CN105439079A ,2016-03-30

[8]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN106185788B ,2016-12-07

[9]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105776124A ,2016-07-20

[10]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 .

中国专利 :CN106348245A ,2017-01-25

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