一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510021534.7

申请日：

2015-01-15

公开(公告)号：

CN105848075A

公开(公告)日：

2016-08-10

发明(设计)人：

何昭文

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H04R1904

IPC分类号：

B81B702 B81C100

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;冯永贞

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-11	授权	授权
2016-08-10	公开	公开
2016-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101677909219 IPC(主分类):H04R 19/04 专利申请号:2015100215347 申请日:20150115

共 50 条

[1]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105992113B ,2016-10-05

[2]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105776124A ,2016-07-20

[3]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

张先明 ;

刘庆鹏 ;

万久平 .

中国专利 :CN106365109A ,2017-02-01

[4]

MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王红海 .

中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15

[5]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

王伟 .

中国专利 :CN106185787A ,2016-12-07

[6]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919B ,2025-08-01

[7]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919A ,2022-06-24

[8]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

张先明 ;

王贤超 .

中国专利 :CN106904566A ,2017-06-30

[9]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107231595A ,2017-10-03

[10]

一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105578369A ,2016-05-11

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