一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510216034.9

申请日：

2015-04-30

公开(公告)号：

CN106185787A

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

郑超王伟

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;冯永贞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695182484 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2015102160349 申请日:20150430
2016-12-07	公开	公开
2018-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王红海 .

中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15

[2]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105776124A ,2016-07-20

[3]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

伏广才 ;

张先明 ;

刘庆鹏 ;

万久平 .

中国专利 :CN106365109A ,2017-02-01

[4]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105848075A ,2016-08-10

[5]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919B ,2025-08-01

[6]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919A ,2022-06-24

[7]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

何昭文 .

中国专利 :CN105992113B ,2016-10-05

[8]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

张先明 ;

王贤超 .

中国专利 :CN106904566A ,2017-06-30

[9]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107231595A ,2017-10-03

[10]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

李广宁 ;

沈哲敏 .

中国专利 :CN106904568A ,2017-06-30

← 1 2 3 4 5 →