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一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011546984.5
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN114655919B
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
徐海宁 陈腾飞 李召峰
申请人：
无锡华润上华科技有限公司
申请人地址：
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/02
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
冯永贞
法律状态：
专利权期限的补偿
国省代码：
河北省 保定市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-04 专利权期限的补偿 专利权期限补偿IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20201223授权公告日:20250801原专利权期满终止日:20401223现专利权期满终止日:20410130
2025-08-01 授权 授权
共 50 条
[1]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
徐海宁 ;
陈腾飞 ;
李召峰 .
中国专利 :CN114655919A ,2022-06-24
[2]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
张先明 ;
王贤超 .
中国专利 :CN106904566A ,2017-06-30
[3]
MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
王红海 .
中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15
[4]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
何昭文 .
中国专利 :CN105776124A ,2016-07-20
[5]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
伏广才 ;
张先明 ;
刘庆鹏 ;
万久平 .
中国专利 :CN106365109A ,2017-02-01
[6]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
何昭文 .
中国专利 :CN105848075A ,2016-08-10
[7]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
郑超 ;
王伟 .
中国专利 :CN106185787A ,2016-12-07
[8]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
何昭文 .
中国专利 :CN105992113B ,2016-10-05
[9]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
周鸣 .
中国专利 :CN107231595A ,2017-10-03
[10]
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P]. 
郑超 ;
李卫刚 ;
刘炼 .
中国专利 :CN105384144B ,2016-03-09
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