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一种MEMS器件及其制备方法、电子装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410448623.5
申请日：
2014-09-04
公开(公告)号：
CN105384144B
公开(公告)日：
2016-03-09
发明(设计)人：
郑超
李卫刚
刘炼
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
B81C100
IPC分类号：
B81B700
代理机构：
北京市磐华律师事务所 11336
代理人：
董巍;高伟
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-03-09 | 公开 | 公开 |
| 2017-10-20 | 授权 | 授权 |
| 2016-04-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101653690360 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2014104486235 申请日:20140904 |