一种MEMS器件及其制备方法、电子装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510974153.0

申请日：

2015-12-22

公开(公告)号：

CN106904565A

公开(公告)日：

2017-06-30

发明(设计)人：

阮炯明张冬平

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B81B702

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟;冯永贞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101736961203 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2015109741530 申请日:20151222
2017-06-30	公开	公开
2019-06-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

李卫刚 ;

刘炼 .

中国专利 :CN105384144B ,2016-03-09

[2]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

刘炼 ;

李卫刚 .

中国专利 :CN105439075A ,2016-03-30

[3]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

刘炼 ;

李卫刚 .

中国专利 :CN105329839A ,2016-02-17

[4]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919B ,2025-08-01

[5]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

郑超 ;

李卫刚 ;

王伟 .

中国专利 :CN105439078A ,2016-03-30

[6]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

徐海宁 ;

陈腾飞 ;

李召峰 .

中国专利 :CN114655919A ,2022-06-24

[7]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

张先明 ;

王贤超 .

中国专利 :CN106904566A ,2017-06-30

[8]

一种MEMS器件及其制备方法和电子装置 [P].

张先明 ;

豆峰 .

中国专利 :CN107857232A ,2018-03-30

[9]

MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

王红海 .

中国专利 :CN120483030A ,2025-08-15

[10]

一种MEMS器件及其制备方法、电子装置 [P].

俞宏俊 .

中国专利 :CN108203075A ,2018-06-26

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