一种带电粒子束测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210049105.7

申请日：

2012-02-29

公开(公告)号：

CN102610478B

公开(公告)日：

2012-07-25

发明(设计)人：

黎明程焰林张国亮程亮陈磊赵翔杨集金大志向伟谈效华

申请人：

申请人地址：

621900 四川省绵阳市919信箱518分箱

IPC主分类号：

H01J37244

IPC分类号：

H01J37317

代理机构：

中国工程物理研究院专利中心 51210

代理人：

翟长明;韩志英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101328718678 IPC(主分类):H01J 37/244 专利申请号:2012100491057 申请日:20120229
2012-07-25	公开	公开
2021-02-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/244 申请日:20120229 授权公告日:20140730 终止日期:20200229
2014-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置 [P].

阿部智彦 ;

小岛真一 .

中国专利 :CN107017142A ,2017-08-04

[2]

一种带电粒子束流测量装置 [P].

戚茂会 .

中国专利 :CN223139855U ,2025-07-22

[3]

一种带电粒子束流测量装置 [P].

李丽卷 ;

李建基 ;

黄海龙 ;

李士会 ;

李进 .

中国专利 :CN115932933B ,2025-09-23

[4]

带电粒子束照射装置、带电粒子束照射方法及带电粒子束照射程序 [P].

桔正则 .

中国专利 :CN102380171A ,2012-03-21

[5]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

中国专利 :CN111624857A ,2020-09-04

[6]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

野村春之 ;

中山田宪昭 .

中国专利 :CN114787958A ,2022-07-22

[7]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

安田淳平 ;

涌井直人 .

日本专利 :CN115113489B ,2025-04-11

[8]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

日本专利 :CN111624857B ,2024-04-02

[9]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

中山贵仁 .

中国专利 :CN109698106B ,2019-04-30

[10]

带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法 [P].

中山贵仁 ;

安部勇仁 .

中国专利 :CN111552150B ,2020-08-18

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