氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法

被引：0

申请号：

CN202180028128.7

申请日：

2021-03-30

公开(公告)号：

CN115443352A

公开(公告)日：

2022-12-06

发明(设计)人：

金子忠昭堂岛大地松原萌子西尾佳高

申请人：

申请人地址：

日本国兵库县

IPC主分类号：

C30B2938

IPC分类号：

C30B2306

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

方挺;侯晓艳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法 [P].

金子忠昭 ;

堂岛大地 ;

村川拓 ;

松原萌子 ;

西尾佳高 .

中国专利 :CN115443353A ,2022-12-06

[2]

氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及抑制位错向氮化铝生长层引入的方法 [P].

金子忠昭 ;

堂岛大地 ;

村川拓 ;

松原萌子 ;

西尾佳高 .

中国专利 :CN115398047A ,2022-11-25

[3]

氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和去除由激光加工引入到氮化铝衬底中的应变层的方法 [P].

金子忠昭 ;

堂岛大地 ;

松原萌子 ;

西尾佳高 .

中国专利 :CN115398604A ,2022-11-25

[4]

用于制造氮化铝晶体的方法、氮化铝晶体、氮化铝晶体衬底和半导体器件 [P].

水原奈保 ;

宫永伦正 ;

川濑智博 ;

藤原伸介 .

中国专利 :CN101370972A ,2009-02-18

[5]

生产氮化铝的方法以及氮化铝 [P].

三浦宏久 ;

松永博文 ;

田原务 .

中国专利 :CN100379679C ,2004-11-24

[6]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836A ,2022-12-27

[7]

氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

王增华 ;

程红娟 ;

王英民 ;

张弛 ;

张丽 ;

高飞 ;

张颖 .

中国专利 :CN120119323A ,2025-06-10

[8]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836B ,2024-01-26

[9]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

曹家康 ;

李泰 ;

康俊杰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN115527837A ,2022-12-27

[10]

氮化铝衬底及其制备方法 [P].

刘新科 ;

范康凯 ;

李一阳 ;

钟智祥 ;

陈春燕 ;

黎晓华 ;

王铠丰 ;

何军 ;

刘河洲 .

中国专利 :CN120989728A ,2025-11-21

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