氮化铝复合衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211190002.2

申请日：

2022-09-28

公开(公告)号：

CN115527836B

公开(公告)日：

2024-01-26

发明(设计)人：

王新强袁冶刘上锋康俊杰罗巍曹家康

申请人：

松山湖材料实验室

申请人地址：

523808 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

C23C14/06 C23C14/18 C23C14/35 C23C14/58 C25D11/04

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

吕露

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-26	授权	授权

共 50 条

[1]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836A ,2022-12-27

[2]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

曹家康 ;

李泰 ;

康俊杰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN115527837A ,2022-12-27

[3]

氮化铝单晶复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117690780B ,2024-06-14

[4]

氮化铝单晶复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117690780A ,2024-03-12

[5]

氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

王增华 ;

程红娟 ;

王英民 ;

张弛 ;

张丽 ;

高飞 ;

张颖 .

中国专利 :CN120119323A ,2025-06-10

[6]

氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底以及形成氮化铝层的方法 [P].

金子忠昭 ;

堂岛大地 ;

松原萌子 ;

西尾佳高 .

中国专利 :CN115443352A ,2022-12-06

[7]

氮化铝衬底及其制备方法 [P].

刘新科 ;

范康凯 ;

李一阳 ;

钟智祥 ;

陈春燕 ;

黎晓华 ;

王铠丰 ;

何军 ;

刘河洲 .

中国专利 :CN120989728A ,2025-11-21

[8]

复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件 [P].

袁冶 ;

王新强 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN118610071A ,2024-09-06

[9]

一种氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

冯家伟 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN118880471B ,2025-01-10

[10]

一种硅基氮化铝复合衬底及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

曹家康 ;

万文婷 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117604471A ,2024-02-27

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