氮化铝单晶复合衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311691504.8

申请日：

2023-12-08

公开(公告)号：

CN117690780A

公开(公告)日：

2024-03-12

发明(设计)人：

王新强袁冶卢同心万文婷曹家康李泰罗巍

申请人：

松山湖材料实验室广东中民工业技术创新研究院有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L31/18

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

黄亚茹

法律状态：

公开

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-12	公开	公开
2024-06-14	授权	授权
2024-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20231208

共 50 条

[1]

氮化铝单晶复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117690780B ,2024-06-14

[2]

超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件 [P].

袁冶 ;

王新强 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117637442A ,2024-03-01

[3]

超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件 [P].

袁冶 ;

王新强 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN117637442B ,2024-09-13

[4]

氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

王增华 ;

程红娟 ;

王英民 ;

张弛 ;

张丽 ;

高飞 ;

张颖 .

中国专利 :CN120119323A ,2025-06-10

[5]

复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件 [P].

袁冶 ;

王新强 ;

卢同心 ;

万文婷 ;

曹家康 ;

李泰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN118610071A ,2024-09-06

[6]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836A ,2022-12-27

[7]

一种氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

冯家伟 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN118880471B ,2025-01-10

[8]

一种氮化铝单晶衬底的制备方法 [P].

冯家伟 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN118880471A ,2024-11-01

[9]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

康俊杰 ;

罗巍 ;

曹家康 .

中国专利 :CN115527836B ,2024-01-26

[10]

氮化铝复合衬底的制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

曹家康 ;

李泰 ;

康俊杰 ;

罗巍 .

中国专利 :CN115527837A ,2022-12-27

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